第一百一十六章 这是EUV的设计图纸

苏陌,绝世天才!

这样的人,就算是建国百年的龙国,也才只出了不到十个而已!

但是这几个人,都是引领着龙国科技腾飞的人!

韩可松无奈地叹了口气:“我知道了,以后我会放平心态的!”

“韩可松,你别忘记了,你的主要目标并不是在芯片的研制,而是气相沉积法的实验!”

王昱还是忍不住提醒了一句。

但是没想到韩可松却摇了摇头道:“王教授,你是不知道,苏陌给我的实验参数,基本上都是对的,除了几个参数需要调整之外,其余大部分的参数直接用就成了!”

“我现在都开始怀疑,这些要调整的参数,是不是苏陌故意留下来的!”

故意留下来的参数?

对于这样的说法,王昱也是一愣神。

但是旋即很快他就反应过来了。

“没事,你要是觉得这部分的东西实在是太简单了,就可以开展一些自己的研究,将石墨烯的纯度进一步的提高!”

王昱现在也只能这样劝说一两句了。

“我知道了!”

韩可松也没有过多的纠结。

接下来的一天时间,苏陌基本上全部吃住都是在办公室里面完成。

王硕带来的手下,也是直接开始换班。

做着最终的测试。

“差不多了,我们可以进行整体联调测试了!”

王硕看着手里面的这些已经改进过的模块,抬头看向面前的苏陌。

“既然都已经准备好了,那就直接开始吧!”

苏陌招呼了下。

王昱这边安排了几个人,穿着防尘服,进入到无尘车间,将这些模块全部都安装光刻机内。

一切都准备就绪。

苏陌站在整个仪器设备的前面,右手放在控制器上。

“电源释放光源频率第一次测试,开始!”

随着声音的落下,苏陌按下了面前的控制按钮。

“嗡嗡!”

整个设备立即开始运作起来。

“输送电压正常!”

“电压频率提升正常,正在不断地提升光源的能量!”

“激光波长正在测试中,波长λ=16n,已经达到深紫外光谱的范围,满足duv光刻机的标准!”

“波长λ=16n,这性能算是在duv光刻机里面最上等的吧,我记得在维修前测试的时候,光谱性能波长λ=40n左右,苏陌竟然直接将性能提升了两倍多?”

“太强了吧,我们这应该算是将光源系统改进成功了!”

在场的不少研究人员都是一脸激动的说道。

16纳米?

“要是我没记错的话,再往下就是极紫外光源euv了吧?”

“没错,但是我们这台光刻机采购的时候是按照14纳米来采购的,难道说这里面的透镜这些,也能够达到极紫外光的程度?”

“这不太可能吧?要真的是这样的话,那么实在是太困难了!”

说到这里的时候,在场的不少人都是忍不住频频摇头。

苏陌任凭他们讨论,他只是盯着面前的面板,没有说话。

“不,我们的改进还不够完美,按照我的设计,我们的发射器产生的波长,应该能够达到13.5纳米左右,但是现在只有16纳米,完全不符合我当初的设计思路!”

苏陌抬头看了一眼众人,然后不紧不慢地说道:“我们首先用高功率的二氧化碳激光直接打在直径为30微米的锡液滴,如此高的功率,几乎是瞬间就会让整个锡液滴达到气化的临界温度!”

“这时候会产生等离子体电离效果,若是我们在这个基础上,使用布拉格反射器,那么我们能够得到的光源波长λ将会进一步的缩小,直至我们能够达到最佳的状态!”

“按照电离所需要提供电子伏进行计算,我们可以进一步地推导出,在发生一次镜面反射的时候,大概需要提供3~4ev的能量,但要是持续开始反射的话,那么我们总共需要62ev电子伏的能量!”

苏陌在黑板上进行简单的计算。

“我检查过这台设别,其镜片的反射率会对电子伏进行损耗,尤其是对极紫外光源的损耗更加严重,所以我们算上占比,那么我们总共提供的能量值,应该在大约80个电子伏左右!”

“这部分的能量,我们已经完全足够!”

“而且你们仔细查看图纸,有没有发现什么不太对劲的地方?”

苏陌指了指面前摆放着的这些图纸。

“图纸有什么不对的地方?”

王硕等人都是纷纷低头开始查看图纸上的参数设置。

“不对,这些图纸的参数设置好像偏大!”

“没错,我也发现了,我先开始以为只是设计预留的余量,但是现在看来,好像压根就不是这么回事!”

“的确是这样没错,从这些参数上来看的话,好像是……”

工部的人在设计方面都是大咖级别,他们压根就不需要过多的提醒,几乎是瞬间就明白过来。

苏陌的设计,原本就不是单纯为了duv级别的光刻机来的!

他一开始的设计,就是冲着euv级别的光刻机来的!

euv级别的光刻机?

“没错,按照我现在的设计,生产出euv的光刻机并不是多么复杂的事情,而且改造之后的余量,也足以完成光刻机的运行!”

“现在最困难的地方,并不是在光刻机内部的镜片方面,而是能源的供给!”

苏陌如实地说道:“想要间歇性实现光刻效果,那么至少每次提供的能量需要达到80ev,但要是全部实现连续光刻的话,那么总体的能量值将至少需要160ev左右!”

苏陌的话音落下,在场工部的不少技术人员都是纷纷低头开始计算。

“按照现在的能源供给,的确是相差甚远,而且若是强负荷运转的话,可能我们现在整体的电路系统都要重新开始改造,毕竟保险丝没有达到这么高的量级!”

“没错,的确是这样,但要是改进供电系统的话,那么整个电路将会全部改造,差不多几个亿建设的厂房,就要直接推导重来!”

“应该不会让我们这么做的吧,就算是全部推导,那么也找不到供电装置啊,这么大的电压,肯定是要上报的!”

在场的不少人都是议论纷纷。

苏陌却抬头看向远处:“现在,只有等着了!”

等着了!

这简单的几个字,却让工部的人一头雾水。